Four de déposition en phase vapeur de CVD, four de frittage automatique de zircone
Application de four de déposition en phase vapeur :
Le four de déposition en phase vapeur peut être utilisé pour la déposition en phase vapeur des matériaux composites avec le gaz de carbone (tel que C3H8, etc.) comme source de carbone, telle que la CVD et CVI traitement des matériaux composites de C/C et sic des matériaux composites.
Caractéristiques de four de déposition en phase vapeur :
Utilisant la technologie de contrôle avancé, il peut avec précision commander l'écoulement et la pression du gaz, l'écoulement de gaz de dépôt dans le four est stable, et la gamme de fluctuation de pression est petite ;
La chambre spéciale de dépôt de structure a bon scellant l'effet et la capacité contre la pollution forte ;
Le chemin multicanal de gaz de dépôt est adopté, le champ d'écoulement est uniforme, l'angle mort de dépôt n'est pas formé, et l'effet de dépôt est bon ;
Le gaz fortement corrosif de queue, le gaz inflammable et explosif, la poussière solide et bas les produits visqueux de point de fusion fabriqués par le dépôt peuvent être effectivement traités ;
L'unité anti-corrosive de vide de la dernière conception a un long temps de travail et un bas taux d'entretien.
Configuration principale de four de dépôt
Porte de four : ascenseur de vis//ascenseur hydraulique/; serrure manuelle/serrure automatique d'anneau de serrure
Coquille de four : plein acier au carbone/acier inoxydable couche intérieure/tous acier inoxydable
Four : le carbone mou s'est senti/feutre composé senti/dur graphite mou
Appareil de chauffage : le graphite isostatique/a moulé trois hauts graphites/graphite fin
Système de gaz de processus : mètre d'écoulement de volume/masse ; valve manuelle/valve automatique ; importé/domestique
Pompe à vide et mesure de vide---importation/domestique
Interface homme-machine : écran tactile/ordinateur industriel
Composants électriques : Chint/Schneider/Siemens
Volume (l) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
Température maximale (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
× H (millimètres) de la taille D de zone de manoeuvre | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
Méthode de contrôle de température | Contrôleur de température électrique d'île du Japon | ||||
méthode de chauffage | Chauffage de résistance | ||||
Système de vide | La pompe anti-encrassement ou la pompe de bobine + les racines pompent | ||||
L'atmosphère d'agglomération | Gaz d'hydrocarbure, etc. | ||||
Tension d'alimentation électrique évaluée (v) | 380 | ||||
Tension de chauffage évaluée (v) | Selon la conception, configurez le transformateur de four | ||||
Limite de vide (PA) | 6X10ˉ2 (état froid de vide) |